Navitar 鏡頭系統(tǒng)

Navitar 全新鏡頭系統(tǒng)Resolv4K 系列

作為生產(chǎn)高精度優(yōu)質(zhì)變焦鏡頭的制造商，Navitar 現(xiàn)隆重推出全新變焦鏡頭技術(shù)。Resolv4K 鏡頭系列以一階原則設(shè)計(jì)，盡可能zui大化利用具備更高像素密度的現(xiàn)代傳感器。配備眾多適配器選擇，用戶可利用 1/2"至 APS 格式的一系列傳感器。變焦鏡頭前端，精密設(shè)計(jì)的鏡頭附件提供最/佳顯像效果；低倍率端提供更大視場，亦不犧牲 MTF 或損失照明性能，而高倍率端可實(shí)現(xiàn)超長工作距離，帶來顯微鏡物鏡級別的分辨率。

此外，Resolv4K 鏡頭不僅可實(shí)現(xiàn)卓/越的可見光波長軸向色彩校正，還大幅提高了可見光至近紅外 (Vis-NIR) 及 SWIR 的波長聚焦性能。系統(tǒng)配備全新 LED 同軸光模塊，確保在大視場配置下亦提供均勻照明。

1.      更寬成像通道。Resolv4K 提供更寬視野范圍，現(xiàn)代高像素密度傳感器帶來卓/越的鏡頭分辨性能，可更快捕捉更大范圍的影像；是高速檢測及精確測量應(yīng)用的理想之選。與傳統(tǒng)變焦系統(tǒng)相比，視場放大 400-600%

2.      更長波長。Resolv4K 變焦鏡頭有可見光、Vis-NIR 及 SWIR 涂層可選。可見光涂層為現(xiàn)有變焦鏡頭帶來卓/越的軸向色彩校正。Vis-NIR 涂層可在深藍(lán)色中實(shí)現(xiàn)精確表面檢測，還可在 1100nm 進(jìn)行次表面檢測，無需重新對焦，也不損失透射性能。SWIR 則可透過表面觀測損傷和缺陷，可應(yīng)用于食品、硅片檢測及其他領(lǐng)域。

3.      更大視場。Navitar Resolv4K 系列帶來更高分辨性能，與傳統(tǒng)變焦鏡頭成像相比，可呈現(xiàn) 400-600% 的更大視場，且細(xì)節(jié)毫發(fā)無損。無需拼接多次捕捉的多份影像。

4.      更高分辨率。Resolv4K 數(shù)值孔徑更高，且具備卓/越的像差校正功能，可實(shí)現(xiàn)精確測量性能。即使將4.5X 放大倍率與 7X 倍率系統(tǒng)相比，Resolv4K 設(shè)計(jì)的優(yōu)異品質(zhì)亦可實(shí)現(xiàn)卓/越表現(xiàn)，如下圖邊緣擴(kuò)散函數(shù)中黑白過渡圖像所示。直至傳感器邊角的系統(tǒng)表現(xiàn)均屬優(yōu)秀，不論你的興趣區(qū)域處于視場中的哪些位置，均可聚焦。您的邊緣檢測軟件會(huì)發(fā)現(xiàn)這一不同。

Navitar 高分辨率物鏡

Navitar 鏡頭系統(tǒng)

系統(tǒng)圖

Camera Mounts

Adapters

Clamps

Core Zooms

Lens Attachments

Motorized Fine Focus

Illumination

Couplers

Cables for Motorized Zoom & FocusModules

高倍率的變焦透鏡系統(tǒng)

特性

模塊化的變焦透鏡系統(tǒng)，用于機(jī)器視覺和其它成像應(yīng)用

6.5X系統(tǒng)可以提供0.09到18.0倍的放大倍率(核心透鏡具有6.5倍的放大調(diào)節(jié)范圍)

12X系統(tǒng)可以提供0.07到28.0倍的放大倍率(核心透鏡具有12倍的放大調(diào)節(jié)范圍)

工作距離為36 - 356毫米

設(shè)計(jì)用于我們的C-Mount 2/3英寸傳感器式CCD和CMOS相機(jī)

通過使用SM1A9或SM1A10 C-Mount至SM1轉(zhuǎn)接件與SM1螺紋的元件兼容

0.15 - 91毫米的視場(情參看視場標(biāo)簽了解細(xì)節(jié))

這些變焦透鏡機(jī)器適合高放大率的機(jī)器視覺和成像應(yīng)用，它們能夠良好地在光學(xué)性能和大變焦范圍之間取得平衡。這些變焦透鏡必須與延長管(下方出售) 一起使用，也可選擇與合適的6.5X或12X系統(tǒng)放大透鏡框(也在下方出售)一起使用。

我們的模塊化變焦透鏡系統(tǒng)包含一個(gè)0.7 - 4.5X的變焦鏡頭(6.5X變焦范圍)或一個(gè)0.58 - 7X的變焦鏡頭(12X的變焦范圍)，0.50X、0.67X、1X、1.33X和2X伸縮套筒以及可選的0.25X、0.5X、0.75X、1.5X和2.0X放大透鏡轉(zhuǎn)接件。這些元件組合在一起構(gòu)成6.5X透鏡系統(tǒng)后，放大率為0.09 - 18，放大調(diào)節(jié)范圍為6.5X，而構(gòu)成12X系統(tǒng)后，放大率為0.07 - 28，放大調(diào)節(jié)范圍為12X。 在調(diào)節(jié)放大倍率(變焦)時(shí)，只需旋轉(zhuǎn)透鏡套筒上的旋轉(zhuǎn)環(huán)即可，即便透鏡安裝在V形壓塊中亦可以調(diào)節(jié)。請注意，每次只能使用一個(gè)放大鏡頭附加透鏡。

放大率計(jì)算

系統(tǒng)的凈放大率M(M=像尺寸/物尺寸)等于放大鏡頭附加透鏡的放大率、變焦透鏡(根據(jù)實(shí)際設(shè)置值)的放大率和伸縮套筒的放大率的乘積。例如，12X變焦鏡頭可以將放大倍率設(shè)置在0.58X和7X之間(對應(yīng)12X變焦范圍)。如果在zui大放大倍率7X時(shí)使用12X變焦鏡頭、2X透鏡框和一個(gè)2X伸縮套筒，zui大系統(tǒng)放大率為2×7×2=28。請參看規(guī)格標(biāo)簽了解每個(gè)透鏡組合的zui大和zui小放大率。

在使用這些鏡頭時(shí)，我們也提供C-Mount轉(zhuǎn)接件(單獨(dú)出售)，可以兼容我們的C-MountCCD和CMOS相機(jī)，或任何其它標(biāo)準(zhǔn)C-Mount相機(jī)。我們還提供帶一個(gè)F卡口安裝座的2X伸縮套筒。請注意，變焦透鏡必須與一個(gè)伸縮套筒一起使用(否則圖像不能被聚焦)，而放大透鏡轉(zhuǎn)接件則是可選用的。另外，使用SM1A9或SM1A10轉(zhuǎn)接件時(shí)，本頁面所出售的可變焦透鏡可以與Thorlabs公司的SM1螺紋光機(jī)集成。

6.5X變焦鏡頭（放大調(diào)節(jié)范圍0.7 - 4.5X）

6.5X變焦范圍(核心透鏡的放大率為0.7 - 4.5X)

系統(tǒng)NA為0.006 - 0.142

專為2/3英寸傳感器式的CCD或CMOS相機(jī)而設(shè)計(jì)

需要與一個(gè)伸縮套筒一起使用

我們的6.5X變焦鏡頭具有0.7 - 4.5X的可調(diào)放大率，共6.5X的放大(變焦)調(diào)節(jié)范圍。MVL6X12具有12毫米的精細(xì)聚焦行程，提供大工作距范圍，而MVL6X3具有3毫米精細(xì)聚焦行程和同軸照明端口，兼容我們OSL2光纖光源和?3 mm和?5 mm的液體光波導(dǎo)。

請注意，我們的6.5X變焦鏡頭必須與一個(gè)伸縮套筒(下方有售)一起使用，同時(shí)可以選用一個(gè)6.5X系統(tǒng)放大透鏡附件(下方有售)。變焦鏡頭的螺紋端具有M25 x 0.75內(nèi)螺紋和1.093"-32外螺紋。我們的6.5X變焦鏡頭可以用C1512(/M)固定式或C1513(/M)可調(diào)式V形壓塊進(jìn)行安裝。

6.5X系統(tǒng)放大鏡頭附加透鏡

可選的放大鏡頭附加透鏡，提供額外的0.25 - 2X放大率

兼容我們的6.5X變焦鏡頭

M25 x 0.75外螺紋

這些放大鏡頭附加透鏡可以為變焦鏡頭和伸縮套筒系統(tǒng)提供額外的放大倍率。它們能夠兼容頁面上方出售的6.5X變焦鏡頭，放大因子為0.25X、0.5X、0.75X、1.5X或2.0X（請參看上面概述標(biāo)簽中的放大率計(jì)算部分）。請注意，一次只能使用一個(gè)透鏡附件。

12X變焦鏡頭（0.58 - 7X的放大范圍）

12X變焦范圍(核心透鏡具有0.58 - 7X的變焦范圍)

系統(tǒng)NA為0.005 - 0.202

專為2/3英寸傳感器式的CCD或CMOS相機(jī)而設(shè)計(jì)

需要與一個(gè)伸縮套筒(下方有售)一起使用

我們的12X變焦鏡頭具有0.58 - 7X的可變放大倍率，可以提供12X的放大(變焦)調(diào)節(jié)范圍。MVL12X12Z/具有12毫米的精細(xì)聚焦行程，適合大工作距離范圍，而MVL12X3Z則只有3毫米的精細(xì)聚焦行程，并帶有一個(gè)同軸照明端口，可以兼容我們的OSL2光纖光源和?3 mm和?5 mm的液體光波導(dǎo)。

請注意，我們的的12X變焦鏡頭必須與一個(gè)伸縮套筒(下方有售)一起使用，同時(shí)可以選用一個(gè)12X系統(tǒng)放大透鏡附件(下方有售)。MVL12X12具有1.093"-32內(nèi)螺紋，而MVL12X3具有1.093"-32內(nèi)螺紋和1.500"-32外螺紋。我們的12X變焦鏡頭可以通過C1512(/M)固定式或C1513(/M)可調(diào)式V形壓塊進(jìn)行安裝。

12X系統(tǒng)放大鏡頭附加透鏡

可選放大鏡頭附件透鏡提供0.25 - 2X的放大率

兼容我們的12X變焦鏡頭

1.093"-32外螺紋

這些放大鏡頭附加透鏡可以為變焦鏡頭和伸縮套筒系統(tǒng)提供額外的放大率。它們能夠兼容頁面上方出售的12X變焦鏡頭，并提供0.25X、0.5X、0.75X、1.5X或2.0X的放大因子（請參看上面概述標(biāo)簽中的放大率部分）。請注意，一次只能使用一個(gè)鏡頭附加透鏡。

用于6.5X和12X透鏡系統(tǒng)的伸縮套筒

是使用我們6.5X和12X變焦鏡頭的必/備器件

兼容這兩種系統(tǒng)

可以提供額外的0.5 - 2X放大率

專為2/3英寸傳感器式的CCD或CMOS相機(jī)而設(shè)計(jì)

MVL20FA集成有一個(gè)F-Mount卡口

這些伸縮套筒是使用我們6.5X和12X變焦鏡頭的必/備器件，它們兼容這兩種系統(tǒng)。它們可以通過MVLCMC C-Mount安裝座轉(zhuǎn)接件（下方有售）與一個(gè)相機(jī)連接。此外，MVL20FA伸縮套筒集成有一個(gè)F-Mount卡口，可以直接與相機(jī)連接。

Mount轉(zhuǎn)接件

我們的伸縮套筒連接高一個(gè)內(nèi)部C-Mount螺紋相機(jī)上

外部C-Mount(1.000英寸-32)螺紋

三個(gè)1/16英寸六角扳手固定螺絲可以將其與伸縮套筒連接

與SM1A9或SM1A10轉(zhuǎn)接件一起將變焦鏡頭集成到Thorlabs公司的SM1螺紋光學(xué)機(jī)械產(chǎn)品上

MVLCMC轉(zhuǎn)接件可以將我們的的變焦鏡頭與一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)C-Mount相機(jī)結(jié)合到一起，包括我們的C-MountCCD和CMOS相機(jī)等。該鉆戒見具有外部C-Mount(1.000英寸-32)螺紋，可以為標(biāo)準(zhǔn)C-Mount的17.526法蘭焦距提供正確的透鏡間隔。此外，在與SM1A9或SM1A10轉(zhuǎn)接件一起使用時(shí)，該頁面出售的變焦鏡頭可以集成到Thorlabs公司的SM1螺紋光學(xué)機(jī)械產(chǎn)品上。

實(shí)例圖像

這里顯示的圖像都是用Thorlabs公司的DCC1240C彩色CCD相機(jī)、MVL20A伸縮套筒、MVL12X3Z變焦透鏡和MVL12X20L放大透鏡框拍攝的。

智能手機(jī)上LCD屏幕的像素（213微米×170微米的視場，放大率為28X，LCD屏幕分辨率為326像素/英寸）

位于陶瓷套管中的一根?50微米纖芯多模光纖的損傷末端，放大倍率為28X（傾斜照明）。

CCD傳感器和Thorlabs公司DCC1224C相機(jī)周圍電路板的遠(yuǎn)視（上）和近視（下）圖。

2.56毫米 x 2.05毫米的視場（2.32X的放大率），同軸照明

267微米 x 213微米的視場（~22X的放大率），同軸照明

6000 變焦™鏡頭系統(tǒng)

無/與倫/比的光學(xué)性能

在高倍率應(yīng)用領(lǐng)域，,6000 變焦鏡頭是*的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),我們的多功能 6.5 倍變焦鏡

頭設(shè)計(jì),在不增加體積或費(fèi)用的情況下賦予您的傳統(tǒng)顯微鏡以放大功能。它們易于整合、組裝和配置到您的

具體應(yīng)用中。與競爭產(chǎn)品相比,Navitar 6000 變焦系列提供了無/與倫/比的光學(xué)性能、重復(fù)性和機(jī)械靈活性。

0.09-393.80X 的動(dòng)態(tài)放大倍率范圍提供了難以置信的多功能性

高對比度的圖像和逼真的色彩使您的設(shè)備表現(xiàn)更好

0.01-182.72 mm 的視野范圍使您擁有廣泛的視角

物距變化范圍是 13 至 390 mm

添加無限校正物鏡鏡頭,實(shí)現(xiàn)無/與倫/比的邊緣平滑和清晰

可以配備帶定格、光圈或電動(dòng)式的鏡筒

6000 變焦視野矩陣(mm,額定物距)

6000 變焦性能規(guī)格

6000 變焦™超變焦

配合無限校正物鏡實(shí)現(xiàn)大分辨率和放大倍率

Navitar 的超變焦產(chǎn)品是半導(dǎo)體檢測、流式細(xì)胞儀和其他高倍率應(yīng)用的理想產(chǎn)品。其*的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高分辨率和出色的對比度。這一系統(tǒng)融合了無限校正的平場復(fù)消色差物鏡,實(shí)現(xiàn)較長的物距和卓/越的邊緣平滑度和清晰度。根據(jù)使用的顯微鏡物鏡,分辨率可調(diào)整為每毫米420至1650條線。超變焦也可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)聚焦和/或同軸照明。

6000 變焦超變焦視野矩陣

(用于部件號的1-60190、 1-60191、 1-60349 和1-60350,mm)

6000 變焦™同軸照明

Navitar 的 6000 變焦內(nèi)設(shè)同軸照明 (1-60123) 是用于涉及如晶片、拋光樣品和流體等的高度反射表面的理想產(chǎn)品。這一設(shè)計(jì)旨在為放大倍率更高的應(yīng)用提供均勻的照明。同軸照明實(shí)現(xiàn)了極其細(xì)致的分辨率,這一特性在配合高分辨率相機(jī)時(shí)尤為顯著。

6000 變焦視野矩陣 1-60123 (mm,額定物距)

12 倍變焦鏡頭系統(tǒng)

Navitar 變焦范圍和分辨率的組合

對于那些高倍率的應(yīng)用，如要求在光學(xué)性能、大變焦范圍和價(jià)格之間取得平衡，那么Navitar 12x變焦鏡頭是理想的選擇。12x變焦具有更大的變焦范圍，同時(shí)有 6000 變焦系列的所有機(jī)械靈活性,更高的數(shù)值孔徑和無/與倫/比的精確度和可重復(fù)性,可滿足要求苛刻的應(yīng)用。變焦范圍的這種完/美組合,再加上大視場范圍,意味著您現(xiàn)在只使用攝像檢查系統(tǒng)就可以看到更廣的部分,而無需累贅的顯微鏡。

難以置信的 12X (0.58-7X) 放大倍率用于檢查更廣的范圍

分辨率隨 0.005- 0.550 數(shù)值孔徑而增加

物距變化范圍是 13 至 341 mm

使用附件視野為 0.006 mm 至 85.71 mm

無/與倫/比的邊緣平滑度和清晰度

使用 1/4"、1/3"、1/2" 和 2/3" 格式相機(jī)

12X 變焦系統(tǒng)使用現(xiàn)存的 6000 變焦轉(zhuǎn)接器鏡筒

可以配備帶定格、光圈或電動(dòng)式的鏡筒

12X 變焦視野矩陣 (mm

12X 變焦性能規(guī)格

12X 超變焦

適用高倍率應(yīng)用的無/與倫/比的光學(xué)質(zhì)量

Navitar 的12X 超變焦產(chǎn)品以*的設(shè)計(jì)融合了無限校正物鏡,實(shí)現(xiàn)較長物距和出色的邊緣平滑度和清晰度。超變焦也可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)聚焦或精細(xì)聚焦和同軸照明。

12X 超變焦視野矩陣用于 1-50502、 1-50503 和 1-50504 (mm)

具有同軸照明的 12X 變焦

Navitar 的 12X 變焦內(nèi)設(shè)同軸照明 (1-50487) 是用于涉及如晶片、拋光樣品和流體之類的高度反射表面的應(yīng)用的理想產(chǎn)品。這一設(shè)計(jì)旨在為更高倍率的應(yīng)用提供均勻的照明,它實(shí)現(xiàn)了在入射光源下極其細(xì)致的分辨率,尤其是在使用高分辨率相機(jī)時(shí)。并且可以配合各種光源進(jìn)行使用。

具有同軸照明的 12X 變焦的視野矩陣- 1-50487 (mm)

12X 遠(yuǎn)心變焦

Navitar 提供了12X 遠(yuǎn)心變焦系統(tǒng),使用戶在 0.4 度內(nèi)達(dá)到真正的遠(yuǎn)心條件,同時(shí)保持

恒定的視角和放大倍率。非常適合廣泛應(yīng)用,包括物體的精密尺寸測量或模式識別。

四種遠(yuǎn)心轉(zhuǎn)接器可用于 12X 變焦鏡頭:平直(無同軸光)、平直(有同軸光)、無 同軸

光的直角轉(zhuǎn)接器和折疊有同軸光的直角轉(zhuǎn)接器。當(dāng)與 1-50993 12X 變焦組合時(shí),遠(yuǎn)

心附件額定物距 173mm +/- 2mm。物距可由工廠從 165 修改至 186 mm。1X 轉(zhuǎn)

接環(huán)的放大倍率范圍是 0.16X 至 1.94X,2X 轉(zhuǎn)接環(huán)則是 0.32X 至 3.88X。zui大視野

是 50 mm。一個(gè)上 2X 的 F 接口轉(zhuǎn)接器可安裝于 F 接口的相機(jī)。

12X 遠(yuǎn)心變焦鏡頭規(guī)格

用于 6000 變焦、12X 變焦和Precise Eye鏡頭的 近紅外鏡頭系統(tǒng)

Navitar 的近紅外變焦鏡頭系統(tǒng)具備高分辨率和無/與倫/比的捕捉顯微圖像敏感性。我們特別對高倍率系統(tǒng)上的玻璃進(jìn)行了鍍膜,以優(yōu)化 700-1550nm 波長范圍內(nèi)的圖像。

可以買到帶定格、光圈或電動(dòng)系統(tǒng)的鏡筒

注意:由于近紅外鏡頭不在可見光譜內(nèi)運(yùn)行,所以所得到的圖像與使用標(biāo)準(zhǔn)變焦系統(tǒng)時(shí)所得圖像稍有不同。近紅外鏡頭的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭分辨率限值是基于 0.5 微米的假定平均波長,且與波長成反比(zui大調(diào)制傳遞函數(shù) = 可見波長下 3000x數(shù)值孔徑)因此,代以 1.5 微米的波長將減少 3 倍的大分辨率。實(shí)際上,這意味著在更高波長下對比度會(huì)稍有降低。

(當(dāng)改變近紅外區(qū)域內(nèi)的波長時(shí),可能需要細(xì)微的重新聚焦。)

Navitar 近紅外光學(xué)產(chǎn)品適用的應(yīng)用

晶圓檢測

激光束分析

光學(xué)組件測量和分析

光纖校準(zhǔn)和檢測

組裝和監(jiān)測

高光譜顯微鏡

微分干涉差分 (DIC) 模塊

用于 6000變焦和12x 變焦系統(tǒng)

兩種微分干涉差分 (DIC) 模塊可從 Navitar 獲得：

DIC 組裝尼康——高分辨率模塊 (1-63726)

原裝 DIC 組裝模塊 (1-63102)

這兩種模塊均可用于 6000 變焦和 12X 變焦的任何超變焦帶同軸光插孔的變焦或不變焦的鏡頭主體。

DIC 與明場照明一起使用時(shí),往往可理解為表面幾何形狀的真正三維表示。它提供了觀察標(biāo)本凹凸區(qū)域之間明確區(qū)分。

在反射光情形下使用 DIC 模塊兩個(gè)偏振器,一個(gè)在照明軸上,一個(gè)在觀察軸上,呈 90 度交叉,在看完/美鏡像表面時(shí),所有光會(huì)被第二個(gè)偏振器熄滅。

棱鏡由兩塊石英制成,放置于照明光束分離器和物鏡之間。由于石英的光學(xué)屬性,偏振光束被分成兩束。這兩束光,被一個(gè)小小的接口分開,以 90 度向彼此偏振,其中一束光向另外一個(gè)周

圍轉(zhuǎn)移——相移。

如果觀察的物體展現(xiàn)的特性改變了任何一個(gè)光束的光路徑長度(如表面屬性、光密度等),兩個(gè)光束都會(huì)出現(xiàn)進(jìn)一步的相移。棱鏡橫向運(yùn)動(dòng)時(shí),棱鏡的相移性能可能會(huì)加劇,并且zui終的圖像

會(huì)改變。通過在光偏振器后面添加偏振修正器,例如 1/4 波片,進(jìn)一步修正zui終效果。

DIC 模組適用于物體側(cè)數(shù)值孔徑 0.05 至 0.50,在 0.15 至 0.4 范圍之間性能zui/佳。在上述范圍內(nèi)操作的透鏡附件用于微距攝影應(yīng)用。任何專為入射光設(shè)計(jì)的無限遠(yuǎn)校正物鏡都足夠滿足微距攝影應(yīng)用。操作參數(shù),如放大倍率和視場,與 Navitar 正在使用的變焦系統(tǒng)的現(xiàn)有表格是一樣的。

應(yīng)用微分干涉差分 (DIC) 和 6000 變焦鏡頭觀察平板顯示

電路的 3D 剖析圖。

電動(dòng)系統(tǒng)選項(xiàng)

設(shè)計(jì)更加穩(wěn)固

Navitar 的電動(dòng)化設(shè)計(jì)適用于 12X 和 6000 變焦系統(tǒng),將磁場霍爾效應(yīng)傳感器和參照位置定位融為一體?；魻栃?yīng)傳感器是固態(tài)器件,部件不可移動(dòng)。

霍爾效應(yīng)固態(tài)傳感器集成技術(shù)

不受環(huán)境光影響

不受環(huán)境污染影響

不受線電壓影響

用戶可以選擇同時(shí)電動(dòng)變焦和聚焦軸,或是僅僅是變焦。Navitar 提供三種不同的電動(dòng)類型:

二相步進(jìn)電機(jī) (Faulhaber)

五相步進(jìn)電機(jī) (Oriental, Vexta)

有編碼器的 DC 伺服電機(jī) (Faulhaber)

大多數(shù)電動(dòng)化鏡頭是根據(jù)訂單制造,這可能影響交貨時(shí)間。

Navitar   深紫外(DUV)光學(xué)系統(tǒng)

NanoVue 248nm 4x 深紫外變焦系統(tǒng) ( 光學(xué)檢測 0.1um)

提供工業(yè)級深紫外變焦解決方案

針對進(jìn)一步擴(kuò)大光學(xué)分辨率的需求，Navitar開發(fā)出NanoVue 248nm 4X深紫外變焦鏡頭，用于光學(xué)檢測。NanoVue光學(xué)系統(tǒng)工作在深紫外(DUV)波段，用于檢測和分析關(guān)鍵的缺陷。相對于傳統(tǒng)的可見光顯微鏡，NanoVue成倍地提高了分辨率的極限。

90nm分辨率

放大倍率75X - 300X， 配合100X 物鏡

0.15 to 0.037 mm FOV 對應(yīng) 2/3" 格式傳感器和100X物鏡

采用深紫外物鏡，檢測尺度可達(dá)0.1 um

工業(yè)級深紫外變焦解決方案

應(yīng)用

?   UV reticle & photomask inspection (UV   投影和掩模檢測)

?   Thin film measurement ( 薄膜測量)

?   Wafer inspection ( 晶圓檢測)

?   CD metrology ( 關(guān)鍵尺寸測量)

?   Failure analysis ( 失效分析)

?   Process control ( 過程控制)

?   Protein crystal location ( 蛋白質(zhì)晶體 率選和位 定位)

?   Pharmaceutical quality control ( 藥物質(zhì)量控制)

?   Contaminant analysis ( 雜質(zhì)分析)

?   Cellular imaging & DNA analysis ( 細(xì)胞成像和DNA 分析)

NanoVue變焦鏡頭是理想的新產(chǎn)品開發(fā)和集成DUV儀器的工具，具有更高的光通量，允許客戶快速開發(fā)新的、靈活的自動(dòng)化儀器，具備功能豐富、成本更低、體積更小等特點(diǎn)。

以下是利用深紫外(DUV) 光學(xué)系統(tǒng)對 蛋白晶體 (crystalline of a protein) 進(jìn)行篩選的應(yīng)用

案例。 請參考。 -- Picking out proteins with UV.